一、磁翻板液位計傳感器材料
傳感器是利用材料的固有特性或開發的幾次功能特性而制成的,例如利用高溫超導材料的研究成果,開發出約瑟夫遜效應磁敏器件。所以沒有好的材料就不可能有好的傳感器,新的材料出現將推動傳感器的發展躍上一個新臺階。但由于制作一種傳感器有很多材料可供選擇.同時一種材料又可能對很多信息具有敏感特性,所以傳感器所涉及的材料問題十分錯綜復雜。
傳感器材料按材料所起的作用分為敏感材料和輔助材料。敏感材料是傳感器材料的核心,傳感器主要是根據敏感材料的固有特性或開發的二次功能特性為理論基礎,因而敏感材料的開發是傳感器材料開發技術的重點.敏感材料的品種繁多,性能要求嚴格,例如有半導體材料、石英敏感材料、高分子敏感材料等。
輔助材料是傳感器發展不可缺少的組成部分。對輔助材料的選擇與應用是否合理將直接影響傳感器的靜態、動態特性及穩定性、可靠性和壽命。應根據傳感器不同的應用場合,選擇防腐液位計符合特殊要求的輔助材料。例如傳感器用的保護材料就有耐腐蝕材料、抗核輻射材料、抗高溫氧化材料、抗電磁干擾材料、耐磨抗沖刷材料、防爆材料等。例如電阻應變計主要需要4種材料:電阻敏感柵、基底、貓結劑和引出線。電阻敏感柵材料屬于敏感材料,其他3種屬于輔助材料.
按材料的特性可將傳感器材料分為半導體材料、敏感陶瓷材料、石英敏感材料、金屬及合金材料、無機材料、有機材料、生化材料、高分子敏感材料、超晶格等。
國內外對敏感材料的開發和應用發展較快,尤其是世界先進工業國家集各路精英,發揮各自優勢,取長補短,共克傳感器材料難關,將會有更多性能更優的敏感材料出現。
二、傳感器的制作技術
傳感器技術的發展依賴于傳感器制作技術的發展·隨著傳感器不斷向半導體化、集成化、小型化和智能化方向發展,傳感器制作技術主要是微系統技術(或稱為微機械加工技術)。微系統技術不但指組成微系統的部件是用微機械加工制成的,而且這些部件組合成系統也是采用微機械加工技術。它是浮球液位計集微機械、微電子、微光學和數據處理軟件等為一體的一門綜合技術。微系統技術包括組成系統的各個部件及子系統的加工工藝和將它們集成到一起形成完整系統的加工工藝。 部件及子系統主要涉及的技術
(1)半導體工藝;
(2)硅微機械加工技術;
(3)集成光學技術;
(4)厚膜·薄膜技術;
(5)毫微技術;
(6)刻蝕技術:
(7) X射線深層光刻電鑄成型(LIGA)技術;
(8)激光加工技術。
2.系統的集成包括系統的底盤、組裝和連線、主要涉及的技術
(1)硅技術、厚膜薄膜技術、微機械加工技術和激光加工技術等:
(2)鍵合主要有芯片A接、共熔鍵合、焊接、玻璃封接、靜電封接等技術;
(3)接線主要有壓焊、倒裝式焊接、TAB(帶自動焊接)等技術。
當傳感器用石英、陶瓷、高分子聚合物和金屬材料為基底時,還要用到玻璃管液位計超精密機械加工(如激光打孔)。
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